Ópticamente son todos muy buenos.
El 60 macro te lo desaconsejo por ser un EF-S, para gustos colores, pero si algún día cambias a una máquina con factor de multiplicación 1,3 o full frame no te servirá.
El 50 semimacro es una lente de calidad óptica excelente, y trabaja perfectamente con cualquier modelo de cámara. Su enfoque automático, sin embargo, resulta lento y ruidoso. La operación también implica la elongación del cuerpo del objetivo. Resulta perfecto para fotografía de estudio, reproducción, bodegones... pero no para tirar fotos a insectos, ya que ni siquiera es un macro real.
El 100 macro es una lente magnífica, que también te servirá para cualquier modelo canon actual y probablemente futuro, si decides cambiar de cámara. El enfoque ya es interno y además USM. Para retratos, como te comentan, es una focal adecuada y el comportamiento resultará intachable. Para insectos también va muy bien, además, es un objetivo macro real.
Tú decidirás cual es el que más te conviene...
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P.D: recuerda que también tienes el 180mm macro, un serie L, mucho más caro, pero muy bueno. Tienes una prueba del mismo en Caborian, y otra del 60 macro, si te interesan.